应用范围

◎2”~6” 各种类LED Wafer晶圆表面外观各种Macro/Micro检查应用

产品特点

• 可依客户需求组合各种Unit
• 电动或手动Stage
• 可配合非接触edge grip macro, 薄型用spindle macro, 薄型用Bernoulli macro等各种wafer自由组合
• KRF data format , G85对应
• Tester review format对应
• 可依客户需求进行装置客制化设计

客制图面范例