MTP
厂 牌 : TAZMO
适用高真空的机器人
实现了低震动，低噪音是本公司产品实现高速传送，高洁净度的旗舰版。
- 采用分支构造，将双手掌的回旋半径控制在最小，传送距离最大延伸的真空智能装置。
- 全轴采用伺服电机，根据独自的构造支持10＾-6Pa的真空环境。
- 也可以提供无升降功能(z轴)的机型。 (另行洽询)
- 关于End effeto，晶圆接触部位的材质请另行洽询
| 适用对象 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA规格晶片 | |
| 6英吋 MASK | |
| 作动范围 | R轴：330㎜(机械臂最大到达距离，不含End effeto) |
| T轴：370deg(原点：±185deg) | |
| Z轴：104㎜ | |
| 往返精准度 | X,Y方向：±0.1㎜ |
| Z轴：±0.05㎜ | |
| 晶圆保持方式 | 下拖式 |
| 晶圆保持确认 | N/A |
| 耐真空度 | 10＾-6Pa |
| 控制方式 | RS232C,RS-485 |
| 适用电源 | 电源：单向AC200V～230V±10％ 5A 1系统 |
| 重量 | 本体：约76kg |
| 控制装置(MCQ)：约16kg |
永远超越客户的期待
ALWAYS GOES BEYOND CUSTOMERS' EXPECTATIONS