应用范围

◎ 半导体产业12吋晶圆载具(FOUP)临时储存与传送的搬送系统

产品特点

• 快速输入/输出和储存的优点
• 缩短制程设备间运送的时间差
• 具有高密度与数量的储存效能
• 远离微粒及污染的问题
• 可依客户需求而客制扩展或缩小储存容量
• 能与客户现有设备进行集成设计安装