搭载伺服电机，本产品是应对EFEM开发的低价格、高性能智能传送机器人，采用新的控制系统，动作更高速平稳。 与常规机相比运动范围缩小了15%，调节器的容积也缩小了50%。

厂　　牌 : TAZMO

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EFEM（Equipment Front End Module）是半导体产业重要的自动化整合设备，能够满足客户对高产量与高Throughput的需求。一体式EFEM晶圆传送设备是源自日本品牌TAZMO，而其Robot，Opener与Aligner皆属本公司产品(附带走行轴、斜取(snake motion)、水平changer，load port可以应客户要求做更灵活的LAYOUT，对应其他厂牌的LDP. – FOUP OPENER，例如：TDK，台湾平田等。

以本公司开发研制的处理器和传送装置为基准，按照要求能快速的设计和制造出专属于你的一款设备的服务。