搭载伺服电机

本产品是应对EFEM开发的低价格、高性能智能传送机器人

• 与常规机相比，提高了零件、规格的共通率，实现了低价位。
• 独自的高速替换系统，晶圆替换时间削减了50%。
• 采用新的控制系统，动作更高速平稳。
• 与常规机相比运动范围缩小了15%，调节器的容积也缩小了50%。
• 对应SEMI F47。
• 可对应2FOUP无轨道。
• 可装Mapping sensor。