搭载伺服电机

本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

是本公司产品实现高速传送，高洁净度的旗舰版。

• 以无导轨方式对应3FOUP。
• 通过替换装置，实现了晶圆的高速替换。
• 可以加购选择Mapping sensor。
• R、θ部与升降部分可分离的构造，让日常的保养更简单。 可以对应大行程的升降高度。
• 提升机械臂的刚性,也为您准备了传送450mm晶圆的机型。