应用设备：真空环境之LCD玻璃基板 / 半导体晶圆搬送设备广泛使用

仕样：

重覆精度 ±0.1mm以内

洁净度 Class 10

搬送物 基板尺寸 MAX500mm 可搬重量4KG

搬送物 Wafer 2”~8”可搬重量200g

供给源 AC100V 50/60Hz 12A

维修交期 2~3周